什么是净化车间：

净化车间又称无尘车间、洁净室、洁净室等，是指去除一定空间内空气中的微粒、有害气体、细菌等污物，以及净化车间的温度和洁净度。房间温度、室内压力、风速和气流分布、噪音、振动、照明、静电控制等都在一定的要求范围内，赋予一个特殊设计的房间。也就是说，无论外界空气条件如何变化，房间都能保持原先设定的洁净度、温度、湿度、压力等特性。

净化车间的材质为净化车间墙体，顶板一般采用50mm厚夹芯彩钢板，具有外形美观、刚性强、保温性能好、施工方便等特点。弧形墙角、门、窗框等一般采用特种氧化铝型材。地面可选用环氧自流地坪或高档耐磨塑料地坪。有防静电要求的，可采用防静电型。回风道采用热镀锌板，贴附阻燃PF发泡塑料板，净化保温效果好。高效出风口采用不锈钢框架，美观整洁。

按照国际惯例，洁净室净化等级主要以每立方米空气中直径大于分级标准的颗粒数为标准。换句话说，所谓的无尘并不是100%没有一点灰尘，而是控制在一个很小的单元内。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒，相对于我们普通的粉尘来说是很小的，但是对于光学结构来说，即使是少量的粉尘也会产生非常大的负面影响，所以在光学结构产品的生产中, 洁净车间是必然要求。

净化车间洁净室分类：

世界上每个国家都有自己的规范，但普遍使用美国联邦标准 209。以下仅对209D、209E等世界各国制定的标准进行介绍和比较。

209E和209D最大的区别是209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级用前缀‵M′表示，如M1、M1.5、 M2.5、M3 ..... 以此类推，按照国际公制单位的标准化，字母M后的阿拉伯数字用10的幂表示每立方米粉尘颗粒数>= 0.5μm，以指数为单位，若尘粒数在正反全幂之间，则表示为1.5、2.5、3.5 .... 清洁网 z:Wg1pj

美国联邦标准FS 209D采用英制每立方英尺为单位，而日本采用公制，即单位为每立方米，0.1μm细颗粒物作为计数标准日本标准符号用Class 1、Class 2、Class 3...Class8表示，最好的等级为Class 1，最差的为Class 8，每立方米的灰尘颗粒总数换算为10的幂. 幂，以指数为准。

净化车间的作用：

净化车间的主要作用是控制产品（如硅片等）接触的大气的洁净度和温湿度，使产品在良好的环境空间内生产制造这个空间叫做净化车间。按照国际惯例，无尘净化的等级主要以每立方米空气中直径大于分级标准的颗粒数为标准。换句话说，所谓的无尘并不是100%没有一点灰尘，而是控制在一个很小的单元内。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒车间净化，相对于我们普通的粉尘来说是很小的，但是对于光学结构来说，即使是少量的粉尘也会产生非常大的负面影响，所以在光学结构产品的生产中，无尘是必然要求。

每立方米小于0.3微米粒径的细尘数量控制在3500以下，达到国际无尘标准A级。目前芯片级生产加工采用的无尘标准对粉尘的要求比A级更高，这种高标准主要应用于一些更高级别的芯片生产。 5μm及以下细尘量严格控制在每立方米1000个以内，行业内也称为1K级。

净化车间设计、施工注意事项：

制定净化车间施工程序表：净化车间建设有先后顺序，杜绝先建哪部分材料的极端错误，避免污染。所有允许同时施工的部分应注意相互之间的联系车间净化，必要时绘制二次施工设计图。

安装高效过滤器：在净化车间安装高效过滤器之前，应彻底清洁。净化送回风系统试运行24小时后，再次清洁洁净室后应立即安装高效过滤器。

洁净送回风系统风道的施工：风道内表面必须平整光滑，风道安装后、加热前应进行漏风检查保存。风管及构件支吊架的预埋件、钉子或膨胀螺栓的位置应正确、牢固、可靠，预埋件应脱脂、不涂漆。

设置专用储藏室：妥善保管所有材料设备说明书和证书，以便在完成验收后将完整资料交给用户。设备、材料到达净化车间施工现场时，应进行严格检查，各工艺装置开箱检查后再次封存。

做好洁净车间的密封工作：洁净车间的空气流动要有序，按照设计者的意图流动，绝对不能漏到不该漏的地方。很多人认为，在净化车间的建设过程中，为了平衡新风，必须把室内的一部分空气排出去，漏掉一点也没有关系。这种观点是不可取的。

其他事项：净化车间施工前，应对原建筑进行彻底清洁和维修，并密封原门窗。洁净车间超纯水和超纯气体系统的安装必须由具备资质的专业人员进行。